Основы автоматизации технологических процессов. Учебное пособие
Технические науки / Электроника, электрика
Основная информация:
Название: Основы автоматизации технологических процессов. Учебное пособие
Жанр: Нет
Автор: Щагин А.В., Демкин В.И., Кононов В.Ю., Кабанова А.Б.
Год выпуска: 2017
Формат: PDF
Размер: 37.6 MB
ISBN: 588083329610
Язык: Русский
СКАЧАТЬ Основы автоматизации технологических процессов. Учебное пособие БЕСПЛАТНО EPUB - DOC - DJVU - RTF - PDFОписание: Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.
Оглавление:
Введение
Глава 1. Управление технологическими процессами в микроэлектронике
1.1. Основные технологические процессы производства изделий микроэлектроники
1.2. Основные характеристики оборудования автоматизированного производства микроэлектроники
1.3. Подсистемы технологического оборудования
Глава 2. Системы автоматизации технологических процессов
Глава 3. Средства автоматизации и управления
Глава 4. Применение микропроцессорной техники в автоматизации технологических процессов
Глава 5. АСУТП и диспетчерское управление
Литература