Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
Наука и образование / Технические издания
Основная информация:
Название: Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
Жанр: Нет
Автор: Б.Н. Васичев
Год выпуска: 1977
Формат: DJVU
Размер: 3,7 Мб
ISBN: 956429547583
Язык: Русский
СКАЧАТЬ Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок БЕСПЛАТНО EPUB - DOC - DJVU - RTF - PDFОписание: /p>
Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам.Этот метод позволяет производить комплексное изучение электронно-микроскопических объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление - электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т.д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов.
Книга рассчитана на инженерно-технических работников - физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов.